看完這篇文章,瞬間了解四極質(zhì)譜儀
更新時(shí)間:2021-12-14瀏覽:1574次
四極質(zhì)譜儀用于監(jiān)控過程氣體和基本真空條件的工具是Transpector XPR3L氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟(jì)高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染,提高預(yù)防性維護(hù)程序的有效性和效率。
一、四極質(zhì)譜儀的功能:
通過運(yùn)行高達(dá) 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV,提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的雙用功能、過程監(jiān)控和基本真空保證;
經(jīng)濟(jì)高效的過程監(jiān)控器,可用于可擴(kuò)展的生產(chǎn)設(shè)計(jì);
通過持續(xù)自動(dòng)監(jiān)控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì),提高過程良率,減少碎片,提高產(chǎn)品質(zhì)量;
通過以高靈敏度和較小可檢分壓強(qiáng)驗(yàn)證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染,加快 PM 恢復(fù),提高生產(chǎn)力;
可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運(yùn)行,能夠檢測(cè)各種材料、污染或副產(chǎn)品,確保您的投資安全,降低投資風(fēng)險(xiǎn);
與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容,提供可靠、先進(jìn)的診斷和過程控制。
二、四極質(zhì)譜儀的典型應(yīng)用:
太陽能/光伏設(shè)備制造
LCD 制造
PVD 過程監(jiān)控
監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
暴露和鑒別污染
檢測(cè)和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
PM 恢復(fù)/故障排除和驗(yàn)證基本真空