四極質(zhì)譜儀用于監(jiān)控過程氣體和基本真空條件的工具是Transpector XPR3L氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟(jì)高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染，提高預(yù)防性維護(hù)程序的有效性和效率。
 

　　一、四極質(zhì)譜儀的功能：
 

　　通過運(yùn)行高達(dá) 10mTorr(可選 20mTorr)的 UHV，提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的雙用功能、過程監(jiān)控和基本真空保證；
 

　　經(jīng)濟(jì)高效的過程監(jiān)控器，可用于可擴(kuò)展的生產(chǎn)設(shè)計(jì)；
 

　　通過持續(xù)自動(dòng)監(jiān)控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量；
 

　　通過以高靈敏度和較小可檢分壓強(qiáng)驗(yàn)證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復(fù)，提高生產(chǎn)力；
 

　　可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運(yùn)行，能夠檢測(cè)各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風(fēng)險(xiǎn)；
 

　　與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、先進(jìn)的診斷和過程控制。
 

　　二、四極質(zhì)譜儀的典型應(yīng)用:
 

　　太陽能/光伏設(shè)備制造
 

　　LCD 制造
 

　　PVD 過程監(jiān)控
 

　　監(jiān)控過程氣體壓力和氣體比率
 

　　暴露和鑒別污染
 

　　檢測(cè)和查找泄漏(空氣、氦氣、水及其他蒸汽)
 

　　PM 恢復(fù)/故障排除和驗(yàn)證基本真空