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簡(jiǎn)要描述：腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀HPR-80（ Reactive/Corrosive Species Analyzer）是專為活潑性、腐蝕性氣體分析和半導(dǎo)體、真空過(guò)程研究而設(shè)計(jì)的儀器，快速、定量分析活潑性、腐蝕性氣體，如反應(yīng)中間產(chǎn)物，HF, HCl, H2S, F2, AsH3, PH3 等強(qiáng)腐蝕性與半導(dǎo)體工藝氣體。
產(chǎn)品型號(hào)：HPR-80廠商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2023-11-22訪 問(wèn) 量：5535| 品牌 | 其他品牌 | 最小檢測(cè)分壓 | 5E-14 mbar |
|---|---|---|---|
| 檢測(cè)限 | 5ppb | 質(zhì)量數(shù)范圍 | 510amu |
| 價(jià)格區(qū)間 | 100萬(wàn)-150萬(wàn) | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,電子,冶金,航天,電氣 |
20年前，Hiden在期刊《Physics Today》今日物理學(xué)雜志發(fā)布了HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀，初期主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的特氣檢測(cè)，如毒性氣體AsH3、B2H6、PH3等，強(qiáng)腐蝕性氣體如如HCI、HF、CIF3等，強(qiáng)氧化性氣體如CIF3、NF3等。
20年來(lái)，Hiden在這一細(xì)分領(lǐng)域具有強(qiáng)大的產(chǎn)品力，針對(duì)不同程度的腐蝕氣體分析，提供不同的解決方案。
HPR-80腐蝕性氣體分析質(zhì)譜儀非常適用于分析腐蝕性氣體，HF，HCl，HBr和鹵代烴氣體工藝產(chǎn)生的反應(yīng)產(chǎn)物。
主要特點(diǎn)：
1、連接件電拋光工藝處理
2、取樣壓力：1mTorr to 1000Torr
3、高靈敏度三級(jí)過(guò)濾四極桿
4、檢測(cè)限可達(dá) 5 ppb
5、QGA專業(yè)版定量分析軟件
上一產(chǎn)品：LAS泄漏分析系統(tǒng) 在線質(zhì)譜分析方法
下一產(chǎn)品：PTR-TOF QBVOCs走航質(zhì)譜儀
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