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等離子體質(zhì)量和能量分析儀

簡要描述:Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等離子過程中陰、陽離子、中性粒子以及自由基。

  • 產(chǎn)品型號:EQP
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-03-22
  • 訪  問  量:5364
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詳細(xì)介紹
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產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域綜合

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀應(yīng)用:

· 刻蝕 / 沉積作用研究
· 離子植入 / 激光燒蝕
· 殘余氣體分析 / 泄漏檢測
· 等離子體電極耦合,即在操作中遵從電極設(shè)定條件
· 通過視口、接地電極和驅(qū)動電極進(jìn)行分析

Hiden EQP 等離子體質(zhì)量和能量分析儀特點(diǎn):

1、軟件控制的離子汲取光學(xué)系統(tǒng),以使等離子體擾動z小
2、45°靜電扇區(qū)分析器,掃描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
3、所有能量范圍內(nèi),離子行程的z小擾動,及恒定離子傳輸
4、帶差式泵的三級過濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu
5、高靈敏度 / 穩(wěn)定的脈沖離子計數(shù)檢測器,有7個數(shù)量級的動態(tài)范圍
6、可調(diào)諧的離子源,用于電子附著選件的表觀電勢質(zhì)譜分析
7、Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)
8、信號選通分辨率1μs,用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布隨時間的變化
9、1000eV 選配, 漂浮電壓可選至10keV, Faraday 杯用于高密度等離子體
10、Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可選,高壓操作可選
11、通過RS232、RS485或Ethernet LAN,控制軟件MASsoft。 

 
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