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離子蝕刻探針-終點(diǎn)檢測儀

簡要描述:IMP(Ions Milling Probe)離子蝕刻探針-終點(diǎn)檢測儀是自帶差式泵的耐用的二次離子質(zhì)譜儀,*的專業(yè)檢測終點(diǎn)儀器。用于離子蝕刻控制以及優(yōu)化工藝。適用于離子刻蝕過程中的二次離子和中性粒子分析。

  • 產(chǎn)品型號:IMP-EPD
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2023-11-22
  • 訪  問  量:4201
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離子蝕刻探針-終點(diǎn)檢測儀

應(yīng)用:
· 終點(diǎn)檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點(diǎn):
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護(hù)
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊

 

應(yīng)用:
· 終點(diǎn)檢測
· 靶的純度測定
· 質(zhì)量控制/SPC
· 殘余氣體分析
特點(diǎn):
· 高靈敏度的SIMS/MS,帶脈沖離子計(jì)數(shù)檢測器
· 離子光學(xué)透鏡、能量分析器和離子源
· 真空規(guī)和安全互鎖裝置提供過壓保護(hù)
· 軟件MASsoft通過RS232、RS485或以太網(wǎng)控制
· 可編程的DDE,平行數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)I/O,RS232腳本通訊

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